空氣潔凈技術(shù)是一門新的技術(shù),國際上50年代中期以后才開始發(fā)展。當(dāng)時美國由于原于能工業(yè)和精密機(jī)械及電子工業(yè)的需要發(fā)展了污染控制及凈化技術(shù)。特別是1957年前蘇聯(lián)第——顆人造衛(wèi)星發(fā)射成功,震驚丁美國政府,促使美國加快了宇航工業(yè)的發(fā)展速度,由此也帶動了污染控制技術(shù)的研究和發(fā)展。潔凈技術(shù)包括工業(yè)潔降技術(shù)和生物潔凈技術(shù)兩大類潔凈室。前者以控制非生物微粒的污染為子要任務(wù),后片則以控制生物微檢的污染為:童要任務(wù)。
核工業(yè)、電子工業(yè)、精密儀器利精密機(jī)械制造等許多]:業(yè)部門部需要生氣潔凈技術(shù)。例如在核反應(yīng)堆、核燃料制造或處理裝置、放射化學(xué)操作及其他核操作過程中都要潔凈室產(chǎn)生放射件氣體和放射性粒子。為了保護(hù)周圍居民和設(shè)備遠(yuǎn)行人員免受放射性氣體祁料子的危害,核空氣潔凈系統(tǒng)足必不可少的。這種治凈系統(tǒng)的特點是具有極高的污染物捕集效率,潔凈室因此代價也非常高。
現(xiàn)代電子工業(yè)的迅速發(fā)展,使Ic(集成電路)的微紉加工技術(shù)口趨精密與趙微型化。發(fā)達(dá)國家所加工的最小圖形尺寸(線條寬度)已達(dá)2—3ftm,甚于達(dá)到lym。大規(guī)模集成電路(1,sI)和超大規(guī)模集成電路(VtsI)的集成度已達(dá)到64K和256K、1M、4M。有害的華埃粒子直徑一般認(rèn)為是加工尺寸的1/5—1/10,因此,在VI。S[制作過程中,為廣提高產(chǎn)品的成品率、質(zhì)量和uJ靠性,被控制塵埃粒徑應(yīng)為o.1Pm。隨著產(chǎn)品集成度提高而使用精細(xì)的dn I:尺寸以及I:序的增An,由于附著異物引起的產(chǎn)品不合格率將急劇廣升*因此,應(yīng)用潔凈技術(shù)的潔凈廠房在該領(lǐng)域戶是非常重要的。
現(xiàn)代生物潔凈技術(shù)是在工業(yè)潔凈技術(shù)的苯礎(chǔ)廣發(fā)展起來的。第一個生物潔凈室是1966年1月在美國建立的?,F(xiàn)在生物沽凈室已廣泛用于宇航業(yè)、潔凈室醫(yī)學(xué)、制藥、牛物實驗、遺傳工程和食品工hIL等各方面。
在醫(yī)學(xué)方面,潔凈室千要用于做心臟、腦外科、臟器移植等深部手術(shù)的手術(shù)室;治療白血病患者、重?zé)齻∪艘约捌渌麑τ诟腥救狈Φ挚沽Χ饔械闹委熓乙约靶枰跓o菌條件下進(jìn)行操作的血液工作室等。如白血病患者,其體內(nèi)的白細(xì)胞大量是幼稚型胞,潔凈室嚴(yán)重喪失對感染的防御能力,因此在治療期間防止感染是相當(dāng)重要的。